Точно помню, что видел в "Радио" схему на ЭСЛ (кажется, даже не 500, а 1500 серии) и усилителе на каких-то СВЧ транзисторах, КТ911 если не ошибаюсь.

В наше время есть куда более быстрые ЭСЛ, чем 1500 серия. MC100LVEL16 (дифференциальный усилитель) типовое время задержки 0,3 нс, фронты 0,22 нс, RMS Jitter 0,7 пикосекунды. Триггеры той же серии считают до 4 ГГц. Микросхемы доступны, хотя не дешевы. Только вот как их в розницу добывать - не очень представляю.